Xử lý các bộ phận chính xác không thể hoàn thành tất cả nội dung xử lý bề mặt trong một quy trình, toàn bộ quá trình xử lý các bộ phận chính xác có thể được chia thành các giai đoạn sau.
1, giai đoạn thô. Cắt bỏ hầu hết phụ cấp gia công của từng bề mặt xử lý và xử lý ngoài tham chiếu tốt, việc xem xét chính là tăng năng suất càng nhiều càng tốt.
2, Giai đoạn bán hoàn thiện. Cắt bỏ các khuyết tật có thể phát sinh sau khi gia công thô, đồng thời chuẩn bị cho quá trình hoàn thiện bề mặt, yêu cầu độ chính xác gia công nhất định và đảm bảo biên độ hoàn thiện phù hợp, đồng thời hoàn thiện quá trình gia công bề mặt thứ cấp.
3,Giai đoạn hoàn thiện. Trong giai đoạn này, việc sử dụng tốc độ cắt lớn, bước tiến nhỏ và độ sâu cắt, loại bỏ lề hoàn thiện do quy trình trước đó để lại, để bề mặt của bộ phận đáp ứng các yêu cầu kỹ thuật của bản vẽ.
4, Giai đoạn hoàn thiện nhẹ. Chủ yếu được sử dụng để giảm giá trị độ nhám bề mặt hoặc tăng cường bề mặt xử lý, chủ yếu cho yêu cầu độ nhám bề mặt rất cao (≤ Nhỏ hơn hoặc bằng 0.32μm) xử lý bề mặt.
5, Giai đoạn gia công siêu chính xác. Độ chính xác gia công tính bằng 0.1-0.01μm, giá trị độ nhám bề mặt ≤ Nhỏ hơn hoặc bằng 0,001μm giai đoạn gia công. Các phương pháp xử lý chính là: cắt chính xác, mài gương tốt, mài và đánh bóng chính xác, v.v.