Năm 1972, Công ty Union Carbide của Mỹ đã phát triển thành công máy gia công tạo bề mặt phi cầu chế độ R-θ. Đây là một máy tiện CNC tọa độ kép có phản hồi vị trí, có thể thay đổi góc quay θ và bán kính R của ray dẫn hướng chỗ ngồi của dụng cụ trong thời gian thực để đạt được khả năng gia công gương của các bề mặt hình cầu. Đường kính gia công lên tới φ380mm và độ chính xác hình dạng của phôi gia công là ±O. 63μm, độ nhám bề mặt là Ra0,025μm.
Công ty Moore lần đầu tiên phát triển máy công cụ xử lý phi cầu M-18AG được điều khiển bởi 3 tọa độ vào năm 1980. Máy công cụ này có thể xử lý các gương kim loại phi cầu khác nhau có đường kính 356 mm.
Công ty Rank Pneumo của Anh đã giới thiệu ra thị trường vào năm 1980 việc sử dụng điều khiển phản hồi bằng laser.
Máy công cụ gia công liên kết hai trục (MSG-325), máy công cụ có thể gia công gương kim loại hình cầu có đường kính 350mm, độ chính xác hình dạng của phôi là 0.{ {4}}.5μm và độ nhám bề mặt Ra là 0.01-O. 025μm. Sau đó, ASG2500, ASG2500T, Nanoform300 và các máy công cụ khác đã được ra mắt. Trên cơ sở các máy công cụ nói trên, công ty đã phát triển Nanoform600 vào năm 1990. Máy công cụ này có thể gia công gương phi cầu có đường kính 600mm và độ chính xác hình dạng của phôi gia công tốt hơn 0,1μm, độ nhám bề mặt là tốt hơn 0,01μm.
Máy tiện kim cương siêu chính xác đại diện cho trình độ cao của các thành viên ngày nay là Lawrence của Mỹ. LODTM, được phát triển thành công bởi phòng thí nghiệm Livermore (LLNL) vào năm 1984, có thể gia công các phôi có đường kính 2100mm và trọng lượng 4500kg, độ chính xác gia công của nó có thể đạt tới 0,25μm và độ nhám bề mặt là RaO . 0076μm, máy có thể xử lý các bề mặt phẳng, hình cầu và phi cầu, chủ yếu được sử dụng để xử lý các bộ phận cần thiết cho kỹ thuật nhiệt hạch bằng laser, các bộ phận cho thiết bị hồng ngoại và gương thiên thể quy mô lớn.
Viên kim cương siêu chính xác quy mô lớn được phát triển bởi Viện Cơ khí Chính xác (CUPE) tại Đại học Cranfield, Vương quốc Anh
Máy cắt gương bên phải có thể gia công gương phi cầu (gương hình nón có đường kính tối đa 1400mm và chiều dài tối đa 600mm) cho kính viễn vọng thiên văn tia X cỡ lớn. Viện cũng đã phát triển thành công máy cắt kim cương có thể xử lý paraboloid con quay bên trong và gương hyperboloid con quay bên ngoài của kính thiên văn tia X.
Máy công cụ gia công siêu chính xác được phát triển ở Nhật Bản chủ yếu được sử dụng để gia công thấu kính và gương cần thiết cho các sản phẩm dân dụng. Hiện tại, các máy công cụ gia công được sản xuất tại Nhật Bản bao gồm: ULG-l00A (H) Fujikoshi được phát triển bởi Toshiba Machinery ASP-L15, Toyota Koki AHN10, AHN30×25, AHN60—máy công cụ xử lý bề mặt phi cầu 3D, v.v. .