Công nghệ vi gia công là một quá trình rất linh hoạt, có thể tạo ra các thành phần siêu nhỏ với hình dạng phức tạp. Ngoài ra, nó có thể được áp dụng cho nhiều loại vật liệu. Khả năng thích ứng của nó làm cho nó đặc biệt phù hợp để vận hành nhanh chóng từ ý tưởng đến nguyên mẫu, sản xuất các cấu trúc 3D phức tạp, thiết kế và phát triển sản phẩm lặp đi lặp lại,
1. Công nghệ vi gia công vật lý
Xử lý bằng chùm tia laze: một quá trình xử lý sử dụng năng lượng nhiệt được hướng dẫn bởi chùm tia laze để loại bỏ vật liệu khỏi bề mặt kim loại hoặc phi kim loại. Nó phù hợp hơn cho các vật liệu giòn với độ dẫn điện thấp, nhưng nó có thể được sử dụng cho hầu hết các vật liệu.
Xử lý chùm ion: một công nghệ sản xuất độc đáo quan trọng để sản xuất micro / nano. Nó sử dụng dòng ion gia tốc trong buồng chân không để loại bỏ, thêm hoặc sửa đổi các nguyên tử trên bề mặt của vật thể.
2. Công nghệ vi cơ hóa học
Khắc ion phản ứng (RIE): một quá trình plasma trong đó các chất được kích thích bằng phóng điện RF tới chất nền hoặc màng khắc trong buồng điện áp thấp. Nó là một quá trình hiệp đồng của các chất hoạt động hóa học và sự bắn phá ion năng lượng cao.
Gia công điện hóa (ECM): một phương pháp loại bỏ kim loại bằng quá trình điện hóa. Nó thường được sử dụng để sản xuất quy mô lớn và chế biến các vật liệu cực kỳ cứng hoặc các vật liệu khó gia công bằng phương pháp truyền thống. Việc sử dụng nó được giới hạn trong các vật liệu dẫn điện. ECM có thể cắt các góc nhỏ hoặc không đều, các đường viền phức tạp hoặc các hốc bằng kim loại cứng và hiếm.
3. Công nghệ vi cơ khí
Tiện kim cương: quá trình tiện hoặc gia công các chi tiết chính xác bằng máy tiện hoặc máy dẫn xuất được trang bị kim cương tự nhiên hoặc tổng hợp.
Phay kim cương: một quy trình cắt có thể được sử dụng để tạo ra mảng thấu kính phi cầu bằng cách cắt hình tròn sử dụng công cụ kim cương hình cầu.
Mài chính xác: gia công mài mòn cho phép phôi được gia công thành bề mặt hoàn thiện mịn và dung sai rất gần là 0. 0001 ".
Đánh bóng: xử lý mài mòn, đánh bóng chùm ion argon là một quy trình khá ổn định, được sử dụng để hoàn thiện gương kính viễn vọng và sửa các lỗi còn sót lại của các thiết bị quang học đánh bóng cơ học hoặc quay kim cương. Quy trình MRF là quy trình đánh bóng xác định đầu tiên. Được thương mại hóa và sử dụng trong sản xuất thấu kính phi cầu, gương phản xạ, v.v.
